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德赢VWIN电子推出新一代ALD装备-固态源ALD
- 分类：公司新闻
- 宣布时间：2022-04-02
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【提要形貌】嘉兴德赢VWIN电子推出固态ALD装备 ，攻克低蒸气压下固态源难出源的难题。实验数据批注 ，固态ALD装备在沉积Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上体现优异。
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【提要形貌】嘉兴德赢VWIN电子推出固态ALD装备 ，攻克低蒸气压下固态源难出源的难题。实验数据批注 ，固态ALD装备在沉积Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上体现优异。
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德赢VWIN电子推出新一代ALD装备-固态源ALD
嘉兴德赢VWIN电子推出固态ALD装备 ，攻克低蒸气压下固态源难出源的难题。实验数据批注 ，固态ALD装备在沉积Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上体现优异。
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