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德赢VWINALD实现高质量依(Ir)单质沉积
- 分类：公司新闻
- 宣布时间：2019-01-10
- 会见量：0
【提要形貌】金属铱单质在光学器件、催化等领域具有普遍的应用前果 ５掠甐WIN电子使用PE-ALD装备攻克了铱源前驱体不易扩散等难点，乐成实现高质量单质铱SEM效果显示(Ir）镀膜匀称,无逍遥，完全知足高端用户的需求 。
德赢VWINALD实现高质量依(Ir)单质沉积
【提要形貌】金属铱单质在光学器件、催化等领域具有普遍的应用前果 ５掠甐WIN电子使用PE-ALD装备攻克了铱源前驱体不易扩散等难点，乐成实现高质量单质铱SEM效果显示(Ir）镀膜匀称,无逍遥，完全知足高端用户的需求 。
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德赢VWINALD实现高质量依(Ir)单质沉积
金属铱单质在光学器件、催化等领域具有普遍的应用前果 ５掠甐WIN电子使用PE-ALD装备攻克了铱源前驱体不易扩散等难点，乐成实现高质量单质铱SEM效果显示(Ir）镀膜匀称,无逍遥，完全知足高端用户的需求 。
SEM 50K:ALD Ir thin film、PEALD装备
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